HfO_2薄膜或涂层的制备方法及相应特点
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DOI：
10.13957/j.cnki.tcxb.2016.03.001
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
胡昌义
中科院分区：
文献类型：
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作者：
刘少鹏;蔡宏中;魏燕;祁小红;胡昌义
