間欠型深振動マグネトロンスパッタリングの放電パルス設計とプラズマ分光計測
間欠型深振動マグネトロンスパッタリングの放電パルス設計とプラズマ分光計測
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间歇深振动磁控溅射放电脉冲设计与等离子体光谱测量
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
美齊津 文典
中科院分区：
文献类型：
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作者：
横山 英佐;永井 友樹;筒井 海太;西宮 信夫;實方 真臣;戸名 正英;山本 宏晃;塚本 恵三;冨宅 喜代一;大下 慶次郎;美齊津 文典
