Geometric error measurement of an ultra-precision machine tool using integrated confocal sensor
Geometric error measurement of an ultra-precision machine tool using integrated confocal sensor
复制标题
使用集成共焦传感器测量超精密机床的几何误差
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Geng Z
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Geng Z
