General aspects of barrier layers for very-large-scale integration applications II: Practice
General aspects of barrier layers for very-large-scale integration applications II: Practice
复制标题
超大规模集成应用势垒层的一般方面 II:实践
DOI:
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发表时间:
1982
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
M. Nicolet
中科院分区:
文献类型:
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作者:
R. S. Nowicki;M. Nicolet