Comparison of Caged-HSQ and Ladder-HSQ Patterns Produced by Room-Temperature Nanoimprinting
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室温纳米压印产生的笼式 HSQ 和梯式 HSQ 图案的比较
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Matsui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Nakamatsu;Y. Takeuchi;N. Taneichi;and S. Matsui
