K.Maenaka et al.: "Structure and Characteristics of Silicon Micro-Gyroscope"Tech. Papers on IEICE Japan. EMD99-67. 33-40 (1999)
K.Maenaka et al.: "Structure and Characteristics of Silicon Micro-Gyroscope"Tech. Papers on IEICE Japan. EMD99-67. 33-40 (1999)
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K.Maenaka 等：“硅微陀螺仪的结构和特性”技术。
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