反射型光学素子作製のためのナノ精度表面転写法の開発
反射型光学素子作製のためのナノ精度表面転写法の開発
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开发用于制造反射光学元件的纳米精密表面转移方法
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
他
中科院分区:
文献类型:
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作者:
芝谷昭彦;他