ラジカル酸化と熱酸化によるシリコン酸化膜の膜質制御
ラジカル酸化と熱酸化によるシリコン酸化膜の膜質制御
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通过自由基氧化和热氧化控制氧化硅薄膜的薄膜质量
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山部紀久夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
呂〓;佐藤慎九郎;蓮沼隆;山部紀久夫
