真空新材料チタンを用いた高性能真空装置の最新開発動向

真空新材料チタンを用いた高性能真空装置の最新開発動向
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采用新型真空材料钛的高性能真空设备最新发展趋势

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
電子材料 9月号
影响因子:
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通讯作者:
栗巣普揮
栗巣普揮
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Hisao Kondo;栗巣普揮;Hisao Kondo;Hiroki KURISU;池田真一;栗巣普揮

文献摘要

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