田邉裕貴: "DCマグネトロンスパッタリング法により作製したTiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧力の影響"日本機械学会関西支部第78期定時総会講演会講演論文集. 034・1. 2-1-2-2 (2003)
田邉裕貴: "DCマグネトロンスパッタリング法により作製したTiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧力の影響"日本機械学会関西支部第78期定時総会講演会講演論文集. 034・1. 2-1-2-2 (2003)
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田边由纪:“沉积气体压力对直流磁控溅射法制造的TiN薄膜机械性能的影响”日本机械工程学会关西分会第78届年会记录034・1。 - 2-2 (2003)
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