Siエッチングによる原子間力顕微鏡用デュアルナノプローブの形成
Siエッチングによる原子間力顕微鏡用デュアルナノプローブの形成
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通过硅蚀刻形成原子力显微镜用双纳米探针
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柴田隆行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
盛田慎二;峯田貴;牧野英司;柴田隆行
