モリブデン・リフトオフ法による酸化物エピタキシャル膜の大面積ナノパターニング(II)
モリブデン・リフトオフ法による酸化物エピタキシャル膜の大面積ナノパターニング(II)
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钼剥离法氧化物外延薄膜大面积纳米图形化(二)
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
川合 知二
中科院分区:
文献类型:
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作者:
鈴木 直毅;田中 秀和;山中 理;川合 知二