Study on the Development of Thin-film Pressure Sensor by Using Sputtering Method

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溅射法薄膜压力传感器的研制研究

DOI：
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发表时间：
2001
期刊：
Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technologies
影响因子：
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通讯作者：
Yuji Mihara
Yuji Mihara
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Yuji Mihara

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