ゾルーゲル薄膜の微細パターニングと光機能デバイスへの応用
ゾルーゲル薄膜の微細パターニングと光機能デバイスへの応用
复制标题
溶胶-凝胶薄膜精细图案化及其在光学功能器件中的应用
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野間 直樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Noma;S.Yamazaki;N.Tohge;野間 直樹
