離散的ドーパント位置のデバイス特性に及ぼす影響調査

離散的ドーパント位置のデバイス特性に及ぼす影響調査
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研究离散掺杂剂位置对器件特性的影响

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
平圭吾
平圭吾
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
藤井拓也;矢守恭子;田中良明;Mitsumasa Iwamoto;平圭吾

文献摘要

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