PE-ALD法で作製したAl2O3絶縁膜を用いたIGZO-TFTの電気特性の変化
PE-ALD法で作製したAl2O3絶縁膜を用いたIGZO-TFTの電気特性の変化
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使用PE-ALD法制备Al2O3绝缘膜的IGZO-TFT电性能的变化
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
栗島一徳,生田目俊秀,清水麻希,相川慎也,塚越一仁,大井暁彦,知京豊裕,小椋厚志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
角江崇;夏鵬;田原樹;粟辻安浩;西尾謙三;裏升吾;久保田敏弘;的場修;栗島一徳,生田目俊秀,清水麻希,相川慎也,塚越一仁,大井暁彦,知京豊裕,小椋厚志;栗島一徳,生田目俊秀,清水麻希,相川慎也,塚越一仁,大井暁彦,知京豊裕,小椋厚志
