Design and fabrication of a 20 MHz pn-diode silicon ring resonator with in-plane vibration mode
Design and fabrication of a 20 MHz pn-diode silicon ring resonator with in-plane vibration mode
复制标题
具有面内振动模式的 20 MHz pn 二极管硅环谐振器的设计和制造
DOI:
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发表时间:
2016
影响因子:
1.5
通讯作者:
and K. Suzuki
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Y. Asahi;H. Tanigawa;T. Nishino;T. Furutsuka;and K. Suzuki