Minimized Hysteresis and Low Parasitic Capacitance TSV with PBO (Polybenzoxazole) Liner to Achieve Ultra-High-Speed Data Transmission
Minimized Hysteresis and Low Parasitic Capacitance TSV with PBO (Polybenzoxazole) Liner to Achieve Ultra-High-Speed Data Transmission
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最小化磁滞和低寄生电容 TSV，采用 PBO（聚苯并恶唑）衬垫，实现超高速数据传输
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Tetsu Tanaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hisashi Kino;Masataka Tashiro;Yohei Sugawara;Seiya Tanikawa;Takafumi Fukushima;and Tetsu Tanaka
