Development of compact retarding field energy analyzer for measuring ion energy distribution in planar magnetron discharge
Development of compact retarding field energy analyzer for measuring ion energy distribution in planar magnetron discharge
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开发用于测量平面磁控管放电中离子能量分布的紧凑型减速场能量分析仪
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Takahiko Yamashita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masaki Ishiba;Yoshinobu Mastuda;Atsushi Kina;Tomohiro Furusato;and Takahiko Yamashita
