面に配向したTiN膜のトライボロジー特性
面に配向したTiN膜のトライボロジー特性
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平面取向 TiN 薄膜的摩擦学性能
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
春山義夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Haruyama;S. Kawamura;J. Ishii;N. Horikawa;Yoshio Haruyama;春山義夫
