Heavy phosphorus doping of diamond by hot-filament chemical vapor deposition
Heavy phosphorus doping of diamond by hot-filament chemical vapor deposition
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热丝化学气相沉积金刚石重磷掺杂
DOI：
10.1016/j.diamond.2023.109789
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发表时间：
2023
影响因子：
4.1
通讯作者：
Koizumi Satoshi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Katamune Yuki;Izumi Akira;Ichikawa Kimiyoshi;Koizumi Satoshi
