Studies on Key nano-fabrication processes for GaAs-based air-bridge-type two-dimensional photonic-crystal slab waveguides
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GaAs基空气桥型二维光子晶体板条波导关键纳米加工工艺研究
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and K.Asakawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Ikeda;Y. Sueimoto;Y. Tanaka;K. moue;H. Oda;Y. Watanabe;and K.Asakawa
