Analysis of Si Deposition Using Under-expanded Supersonic Jet in SiH_4/H_2 PE-CVD
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SiH_4/H_2 PE-CVD中欠膨胀超音速射流硅沉积分析
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Kuribayashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Nishida;Y.Tsunekawa;M.Ukai;D.Ando;N.Okamoto;S.Tanaka;N.Tanaka;J.Nakamura;Y.Nomura;H.Muta;S.Kuribayashi
