二層PMMAフィルムの貼り合わせによる多段微細構造物の作製
二層PMMAフィルムの貼り合わせによる多段微細構造物の作製
复制标题
通过层压两层 PMMA 薄膜制造多级微结构
DOI：
--
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
川田博昭，山本健生，八木駿典，安田雅昭，平井義彦
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Shimizu;H. Tanabe;M. Yasuda;Y. Hirai;and H. Kawata;川田博昭，山本健生，八木駿典，安田雅昭，平井義彦
