金属ナノ粒子の電界トラップを用いた配線修復における周波数依存性
金属ナノ粒子の電界トラップを用いた配線修復における周波数依存性
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使用金属纳米粒子电场陷阱修复互连的频率依赖性
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩瀬英治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
細谷航平;古志知也;岩瀬英治
