倉知正,中村義春: "Electron Swarm Parameters in SiH_4-Rare Gas Mixtures and Collision Cross Sections for SiH_4 Molecule" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 265-268 (1990)

倉知正,中村義春: "Electron Swarm Parameters in SiH_4-Rare Gas Mixtures and Collision Cross Sections for SiH_4 Molecule" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 265-268 (1990)
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Tadashi Kurachi、Yoshiharu Nakamura:“SiH_4-稀有气体混合物中的电子群参数和 SiH_4 分子的碰撞截面”第七届等离子体处理研讨会论文集 1. 265-268 (1990)。

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