自己整列微粒子マスクを用いたエッチングによる微細構造の表面積評価
自己整列微粒子マスクを用いたエッチングによる微細構造の表面積評価
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使用自对准粒子掩模通过蚀刻评估微结构的表面积
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
欅徳人,諸貫信行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Etsuo Maeda;Takanori Matsuki;Ichiro Yamada;Jean-Jacques Delaunay;西尾学,諸貫信行,田中靖紘,金子新;欅徳人,諸貫信行
