SiCのレーザスライシング加工における剥離面性状
SiCのレーザスライシング加工における剥離面性状
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SiC 激光切片的剥离表面特性
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池野順一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山田洋平;阿部達毅;浅原浩和;富士和則;明田正俊;池野順一
