Low-Voltage actuator of RF-MEMS Switch using Piezoelectirc PZT thin films
Low-Voltage actuator of RF-MEMS Switch using Piezoelectirc PZT thin films
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使用压电 PZT 薄膜的 RF-MEMS 开关低压执行器
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hidetoshi Kotera
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Isaku Kanno;Endo;Hidetoshi Kotera
