Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations
Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations
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采用 CMOS 兼容工艺制造超高灵敏度硅纳米线生物传感器，用于检测低浓度生物分子
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Izumi and H. Sone
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Zhang;K. Okabe;N. Kikuchi;N. Ohshima;T. Kajisa;T. Sakata;T. Izumi and H. Sone
