微粒子応用SiCの高速液相エピタキシャル成長におけるSiC微粒子径の影響
微粒子応用SiCの高速液相エピタキシャル成長におけるSiC微粒子径の影響
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SiC细颗粒尺寸对细颗粒SiC高速液相外延生长的影响
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉川健
中科院分区：
文献类型：
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作者：
樫村知之;山口彰太;吉川健
