大電力パルススパッタのイオン化金属粒子を用いた薄膜構造の制御
大電力パルススパッタのイオン化金属粒子を用いた薄膜構造の制御
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高功率脉冲溅射中电离金属粒子控制薄膜结构
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
馬場 茂
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中野武雄;馬場 茂
