Influence of surface morphology of the polycrystalline silicon on field electron emission
Influence of surface morphology of the polycrystalline silicon on field electron emission
复制标题
多晶硅表面形貌对场电子发射的影响
DOI:
10.1016/s0040-6090(98)01386-8
复制
发表时间:
1999
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
A. Evtukh
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
A. Evtukh