3D atomic-scale-analysis of elemental distribution in silicon nanoelectronics
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复制标题
硅纳米电子学中元素分布的 3D 原子尺度分析
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Shimizu and K. Inoue
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Nakamura;Z. Yuan;S. Hashimoto;S. Adachi;Y. Shimizu and K. Inoue
