SOI-MOSFETを利用した能動型ひずみ検出素子
SOI-MOSFETを利用した能動型ひずみ検出素子
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使用 SOI-MOSFET 的有源应变传感元件
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
原田・神谷・石澤・奥山・松下
中科院分区：
文献类型：
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作者：
本村文孝;今井康文;才本明秀;今井康文;本村文孝;楠田朋之;中島晃;本村文孝;本村文孝;本村文孝;木之下 博;大前 伸夫;木之下博;Nobuo Ohmae;Hiroshi Kinoshita;Hiroshi Kinoshita;和田剛典;高橋・原田・奥山・松下;原田・永井・高橋・奥山・松下;原田・神谷・石澤・奥山・松下
