High functionality of an optical fiber stylus for micro metrology
High functionality of an optical fiber stylus for micro metrology
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用于微型计量的光纤触针的高功能
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kunitaka Fujiyoshi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroshi Murakami;Akio Katsuki;Takao Sajima;Kosuke Ucihyama;Takahiko Yamamoto;Ryosuke Nagata;Kunitaka Fujiyoshi
