Risaku Toda,Kazuyuki Minami and Masayoshi Esashi: "Study of Xenon Difluoride Silicon Etch for Thin Beam Bulk Micromachining" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. 175-178 (1996)
Risaku Toda,Kazuyuki Minami and Masayoshi Esashi: "Study of Xenon Difluoride Silicon Etch for Thin Beam Bulk Micromachining" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. 175-178 (1996)
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Risaku Toda、Kazuyuki Minami 和 Masayoshi Esashi：“薄束体微加工的二氟化氙硅蚀刻研究”第 14 届传感器研讨会技术文摘。
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