Widely tunable VCSEL using MEMS technology
Widely tunable VCSEL using MEMS technology
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使用 MEMS 技术的广泛可调 VCSEL
DOI：
10.1109/leos.2000.890670
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
C. Chang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. Chang
本文综述了VCSEL的基本原理和波长工程的最新进展，并讨论了如何利用VCSEL结构来有效地控制激光发射。我们将讨论使用微机电结构（MEMS）的波长可调谐垂直腔面发射激光器的设计、制造、性能和应用。
We review basic principle and recent advances in wavelength engineering of VCSEL and discuss how the VCSEL structure has been used to effectively control the laser emission. We will discuss the design, fabrication, performance and applications of wavelength tunable VCSELs using micro-electro-mechanical structures (MEMS).