Growth process of ZnO films in N2/O2 plasma generated near atmospheric pressure
Growth process of ZnO films in N2/O2 plasma generated near atmospheric pressure
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近大气压 N2/O2 等离子体中 ZnO 薄膜的生长过程
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and N. Fujimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Nose;and N. Fujimura
