多段ドライエッチングを用いたサブミリ波 観測用広帯域シリコン光学素子の開発
多段ドライエッチングを用いたサブミリ波 観測用広帯域シリコン光学素子の開発
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利用多级干法刻蚀开发用于亚毫米波观测的宽带硅光学元件
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
関本裕太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長谷部孝;林佑;正光義則;新田冬夢;松尾宏;関本裕太郎
