澁谷秀雄, 深澤隆, 不破徳人, 池野順一, 鈴木浩文, 堀内宰: "薄片状シリカEPDペレットによるシリコンウエハの研削特性"日本機械学会論文集(C編). 68・673. 2791-2796 (2002)
澁谷秀雄, 深澤隆, 不破徳人, 池野順一, 鈴木浩文, 堀内宰: "薄片状シリカEPDペレットによるシリコンウエハの研削特性"日本機械学会論文集(C編). 68・673. 2791-2796 (2002)
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Hideo Shibuya、Takashi Fukasawa、Norito Fuwa、Junichi Ikeno、Hirofumi Suzuki、Osamu Horiuchi：“使用片状二氧化硅 EPD 颗粒的硅晶片的研磨特性”日本机械工程师学会会议记录（编辑 C）68・673-。 2796 (2002))
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