Platinum-assisted chemical etching of SiC: A density functional theory study
Platinum-assisted chemical etching of SiC: A density functional theory study
复制标题
铂辅助 SiC 化学蚀刻：密度泛函理论研究
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Bui Pho Van
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takuya Kobayashi;and Atsushi Kawamoto;Bui Pho Van
