低温成長によるZnO膜の平坦化と 電気的特性への影響

低温成長によるZnO膜の平坦化と 電気的特性への影響
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低温生长ZnO薄膜的平坦化及其对电性能的影响

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
後藤秀樹
後藤秀樹
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
中村篤志;横北拓大;章 国強;後藤秀樹

文献摘要

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