J.Murota, et al: "Fabrication of 0.1μm MOSFET With Snppr Self-Aligned Ultrashallow Junction Electrodes Using Selective Sirx Gex CVD" SDERC 27. 27. 376-379 (1997)
J.Murota, et al: "Fabrication of 0.1μm MOSFET With Snppr Self-Aligned Ultrashallow Junction Electrodes Using Selective Sirx Gex CVD" SDERC 27. 27. 376-379 (1997)
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J.Murota 等人：“使用选择性 Sirx Gex CVD 使用 Snppr 自对准超浅结电极制造 0.1μm MOSFET”SDERC 27. 27. 376-379 (1997)
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