HによるSi表面エッチングにおけるH終端Si(001)表面上でのH拡散の寄与
HによるSi表面エッチングにおけるH終端Si(001)表面上でのH拡散の寄与
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H 终止 Si(001) 表面上 H 扩散对 Si 表面蚀刻的贡献
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安武潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
稲垣耕司;広瀬喜久治;森川良忠;安武潔
