In-Depth Chemical State Analysis of a Lanthanum Silicate Layer Formed by Thermal Oxidation of LaSi_x/Si(100)

In-Depth Chemical State Analysis of a Lanthanum Silicate Layer Formed by Thermal Oxidation of LaSi_x/Si(100)
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LaSi_x/Si(100)热氧化形成的硅酸镧层的深入化学态分析

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Transactions of the Materials Research Society of Japan
影响因子：
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通讯作者：
M.Suzuki
M.Suzuki
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T.Kashiwakura;S.Nakai;M.Suzuki

文献摘要

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