The effect of incident cluster ion energy and size on secondary ion yields emitted from Si
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DOI：
10.1016/j.nimb.2006.12.074
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发表时间：
2007-03
影响因子：
1.3
通讯作者：
S. Ninomiya;K. Ichiki;Y. Nakata;T. Seki;T. Aoki;J. Matsuo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ninomiya;K. Ichiki;Y. Nakata;T. Seki;T. Aoki;J. Matsuo
