RFスパッタリング導入ガスによるITO薄膜ヘテロコア光ファイバセンサの屈折率感度への影響

RFスパッタリング導入ガスによるITO薄膜ヘテロコア光ファイバセンサの屈折率感度への影響
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射频溅射引入气体对ITO薄膜异核光纤传感器折射率灵敏度的影响

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中村優奈,長尾裕司,渡辺一弘,西山道子
中村優奈,長尾裕司,渡辺一弘,西山道子
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kadokura Miyuki;Yamazaki Hiroshi;Kasai Tokio;Watanabe Kazuhiro;Nishiyama Michiko;姜 棹元,長尾裕司,渡辺一弘,西山道子;中村優奈,長尾裕司,渡辺一弘,西山道子

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