ウェットO2アニールを用いた液体材料由来の非晶質InZnO薄膜の作製とトランジスタ特性への影響
ウェットO2アニールを用いた液体材料由来の非晶質InZnO薄膜の作製とトランジスタ特性への影響
复制标题
湿法O2退火液态材料非晶InZnO薄膜的制备及其对晶体管特性的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
浦岡行治
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
長田至弘;石河泰明;藤井茉美;浦岡行治
