ダイヤモンドライクカーボン薄膜へのナノ制御ドーピング

ダイヤモンドライクカーボン薄膜へのナノ制御ドーピング
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类金刚石碳薄膜的纳米控制掺杂

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
第75回応用物理学会秋季学術講演会 予稿集
影响因子:
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通讯作者:
高桑雄二
高桑雄二
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
鷹林将;林広幸;楊猛;小川修一;尾辻泰一;高桑雄二

文献摘要

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